QPSIテクノロジー

振動による干渉縞プリントスルーのあるPSI測定と、QPSI™ テクノロジーで測定した干渉縞プリントスルーのない同じ表面のアニメーション比較。

ZYGOの特許取得済みのQPSI™テクノロジーは、精密光学テストのための、まさに画期的な技術です。小さな振動による位相データのノイズとリップルを排除し、従来のPSI取得ではノイズが生じるような環境でも、信頼性の高いデータを提供します。QPSI測定は特別なセットアップや較正を必要とせず、サイクル時間は標準的なPSI測定と同じです。

QPSIはZYGO独自の技術で、Verifire、DynaFiz、Verifire HD、Verifire MST、および多くの赤外線および大口径干渉計システムに標準装備されています。これらのシステムは、信頼性の高い測定の業界標準である、使いやすいコモンパスフィゾー干渉計で、ほとんどの光学表面形状と透過波面測定の最適な選択肢となります。

 
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QPSIテクノロジーを使用するZYGOの干渉計は、モーター、ポンプ、ブロワー、あるいは作業者などの一般的な発生源からの振動が存在する場所でも信頼性の高い高精度の測定が可能です。

特許取得済みの耐振動位相シフト測定技術は、独自のソフトウェアアルゴリズムと、フレームごとに振動を凍結するためのより高い出力を持つ、ZYGO製のHeNeレーザーによって可能になりました。

主な特長:

  • 振動によるリップルや干渉縞のプリントスルーを排除
  • 位相シフト干渉法 (PSI) と同じ高精度測定
  • 較正やセットアップ変更が不要
  • マウスをクリックするだけで簡単に有効化/無効化が可能
  • ほとんどの標準的なZYGO干渉計に搭載