機械加工構造光学部品
ZYGOは、従来の「光学部品」の定義から外れた非従来型のガラスや低膨張コンポーネント/システムを提供することにより、半導体、産業、および研究部門のお客様にサービスを提供しています。その例には、半導体リソグラフィ用の軽量ウエハーステージ、精度の高い位置決め制御のゼロ膨張係数の計測用参照フレーム、従来のストレートエッジミラーこれらの製品をお客様のご要望に応じ ナノメートルの精度で、最大寸法1.25m光学構造部品を日常的に製造しています。
ZYGOは、従来の「光学部品」の定義から外れた非従来型のガラスや低膨張コンポーネント/システムを提供することにより、半導体、産業、および研究部門のお客様にサービスを提供しています。その例には、半導体リソグラフィ用の軽量ウエハーステージ、精度の高い位置決め制御のゼロ膨張係数の計測用参照フレーム、従来のストレートエッジミラーこれらの製品をお客様のご要望に応じ ナノメートルの精度で、最大寸法1.25m光学構造部品を日常的に製造しています。