ステージのサーボ制御

ステージの位置測定アプリケーションにおいて、30年以上の経験を持つZYGOのナノポジション測定製品は、最も信頼される製品として、比類ないパフォーマンスで継続的なオペレーションを提供しています。ZYGOは、OEMベースでクローズドループサーボ制御のフィードバックを提供する為の変位測定干渉計のマーケットリーダーです。今日の生産における半導体やフラットパネルの製造・プロセス制御ツールは、ZYGOの測定用製品を利用することで、量産環境に必要な高い精度と高い信頼性を提供しています。

当社のZMI™変位測定用干渉計を使用して、これらのシステムのレチクル/マスクおよびウエハーステージのナノメートルレベルの相対位置を測定することができます。当社のモジュール化されたコンポーネントは、ナノメートルレベルの動作制御を実現するために、お客様固有のアプリケーションに必要なあらゆる構成へ自由に対応することが可能です。ZMI™システムは、ナノ秒レベルにて同期された最大64軸の変位を測定するよう構成することが可能で、すべての軸で完全同期された測定を行うことができます。

ステージ動作制御のパートナーとして、ZYGOはお客様の継続的なシステム改善をサポートし、次世代のご要件に対応します。