測定エレクトロニクス

ZMI™ シリーズ – ナノ精度変位測定用干渉計

ZMI測定電子ボード

ZMI測定電子エレクトロニクス(基板)
ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。

ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。

更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差(サイクリックエラー)補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。

ZMI™ 501Aは、コンパクトなスタンドアロンエンクロージャとなり、2つの測定軸を提供します。

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モデル: 501A 2400 4004 4104(C)
軸/ボードの数: 2 1または2 4
ボードタイプ: エンクロージャー 6U VME 6U VME64x
最小光パワー: 8.0 µW 1.9 µW 1.0 µW 0.07 µW
位置分解能: 1.24 nm 0.31 nm 0.15 nm
最大速度: ±0.475 m/秒 ±2.1 m/秒 ±2.55 m/秒
最大速度での精度 (σ): 1.6 nm 0.5 nm 0.2 nm
周期的誤差の補正: なし あり
対応するレーザー: 7705 7702、7714、7724
  注意:仕様はダブルパス干渉計用です。