測定エレクトロニクス

ZMI™ シリーズ – ナノ精度変位測定用干渉計

ZMI測定電子エレクトロニクス（基板）
ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。

ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。

更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。

ZMI™ 501Aは、コンパクトなスタンドアロンエンクロージャとなり、2つの測定軸を提供します。