測定エレクトロニクス
ZMI™ シリーズ – ナノ精度変位測定用干渉計

ZMI測定電子エレクトロニクス(基板)
ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。
ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。
更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差(サイクリックエラー)補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。
ZMI™ 501Aは、コンパクトなスタンドアロンエンクロージャとなり、2つの測定軸を提供します。
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詳細
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パンフレットと
仕様シート -
マニュアル
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技術文書
モデル: | 501A | 2400 | 4004 | 4104(C) |
軸/ボードの数: | 2 | 1または2 | 4 | |
ボードタイプ: | エンクロージャー | 6U VME | 6U VME64x | |
最小光パワー: | 8.0 µW | 1.9 µW | 1.0 µW | 0.07 µW |
位置分解能: | 1.24 nm | 0.31 nm | 0.15 nm | |
最大速度: | ±0.475 m/秒 | ±2.1 m/秒 | ±2.55 m/秒 | |
最大速度での精度 (σ): | 1.6 nm | 0.5 nm | 0.2 nm | |
周期的誤差の補正: | なし | あり | ||
対応するレーザー: | 7705 | 7702、7714、7724 | ||
注意:仕様はダブルパス干渉計用です。 |