ZMI™ シリーズ – ナノ精度変位測定用干渉計
ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。
