変位測定用干渉計

ZYGOのレーザー測長器は、クローズドループ動作制御システムで広く使用されており、主に露光装置のステージ制御などに使用されています。当社は、30年以上にわたって、最高の精度と信頼性が要求されるアプリケーションと常に密接に関わり、変位測定用干渉計を革新し続けています。当社のアプリケーション専門家チームが、貴社の位置計測のニーズに対応し、サポートいたします。

ZMI 7702

レーザー

ZMI™レーザーは、高精度位置計測の基盤となる、高い精度で安定化された2周波数出力を提供します。レーザーは、メートル法の標準定義として使用されている、ヘリウムネオンレーザー技術に基づいています。
Displacement measuring Interferometer

干渉計

ZYGOの標準干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能となります。単軸から複数軸のサポート、真空中での使用にも対応します。
ZMI 4000 3-2

測定エレクトロニクス

測定用エレクトロニクスは、レーザー光源による干渉計からの光信号を使用し、変位を計算する重要なパートです。特許取得済みの周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションは、DMIシステムに固有の一般的非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。