変位測定用干渉計

ZYGOの位置センサーは、クローズドループ動作制御システムで広く使用されており、主に露光装置のステージ制御などに使用されています。当社は、30年以上にわたって、最高の精度と信頼性が要求されるアプリケーションと常に密接に関わり、変位測定用干渉計を革新し続けています。当社のアプリケーション専門家チームが、貴社の位置計測のニーズに対応し、サポートいたします。