補償光学制御

お客様の補償光学部品において、ZPS絶対位置センサを使用することで、実際にミラーの形状がどのように変形しているかを知り、より精密に形状を制御することができます。

変形可能なミラー（デフォーマブルミラー）の形状は、熱負荷、アクチュエータのドリフト、または機械的なクリープによって意図しない変化が生じる場合があります。特定の補償光学アプリケーションでは、動作を中断したり、光学系の性能を損なうことなく、光学部品の性能をモニタリングすることは不可能です。一般的なモニタリング法は、実践的でないか、十分な速度での測定ができないケースが多々あります。

ZYGO ZPS™絶対位置測定システム

ZPS™システムは、ミラーまたはその他の光学部品の前面または裏面を直接測定するために、最大64個の設置面積の小さいセンサを多数並列配置することにより、表面の変形をフィードバックし、最高の収差補正を実現します。これにより、光学部品の現場でのリアルタイムのモニタリングが可能になり、クローズドループ制御を併用することで、形状の維持や希望の形状への変形が可能です。

ZPS™システムの再現性の高い絶対位置測定により、既知の良好な変形状態を保存し、これらの状態を動的に作り出すことが可能です。これにより、光学的構成の素早い調整が可能となり、通常時間のかかる反復したプロセスを回避することができます。