超小型絶対位置センサー

最大64チャンネルで同期した高精度の非接触式絶対位置測定を提供します。

ZYGOのZPS™システムは、非接触の超小型光学センサの為、デフォーマブルミラーやレンズの位置決めなどの様々な高精度アプリケーションに統合し、複数の絶対位置を測定することができます。

ZYGOのZPS™システムは、最大64チャンネルで同期し、1.2mmの範囲で高い精度の非接触式絶対位置測定を提供します。1日で1nm以下の測定安定性で、測定分解能は0.01nmとなります。

ZPSセンサは熱を発生せず、電磁干渉の影響を受けないため、ZPS™システムはこのような影響が想定される高精度アプリケーションにも最適です。超コンパクトなZPSセンサは、光ファイバケーブルを介し、集中型筐体（シャーシ）に接続されます。付属のZPS™ソフトウェアは、ZPS™システムとコンピューター間のプラグアンドプレイ接続を提供し、システムを素早く容易に起動しZPS™システムを使用することができます。