ポジションセンサー
ZYGOのポジションセンサーは、フォトリソグラフィや半導体検査装置のステージ制御、デフォーマブルミラーなどのクローズドループ動作制御システムで広く使用されています。当社は、30年以上にわたって、最高の精度と信頼性が要求されるアプリケーションと常に密接に関わり、ポジションセンサーを革新し続けています。当社のアプリケーション専門家チームが、貴社の位置計測、測長のニーズに対応し、サポートいたします。
アプリケーション
OEMサービス
ZYGOの位置測定センサーは、OEM用途で30年以上にわたって使用されています。信頼性の高い操作と一貫した納期厳守を保証する、革新的な位置計測ソリューションを提供するには、信頼できるパートナーが必要であることを当社は理解しています。
ステージのサーボ制御
30年以上の経験を持つZYGOのナノポジションセンシング製品は、最も信頼される製品の1つとなり、比類ないパフォーマンスで継続的なオペレーションを提供しています。ZYGOは、OEMベースで閉ループサーボ制御のフィードバックを提供する変位センサーのマーケットリーダーです。
補償光学制御
自社の補償光学部品が実際にどのように変形しているかを知ることで、より精密に制御することができます。ZPS™ は、鏡またはその他の光学部品の前面または裏面を直接測定するために、最大64個の設置面積の小さいセンサーの大規模な並列配置を提供し、表面の変形を再構築して最高の収差補正を実現します。