ナノ精度位置センサー

ZYGOのナノ精度位置センサーは、フォトリソグラフィや半導体検査装置のステージ制御、デフォーマブルミラーなどのクローズドループ動作制御システムで広く使用されています。当社は、30年以上にわたって、最高の精度と信頼性が要求されるアプリケーションと常に密接に関わり、ナノ精度位置センサーを革新し続けています。当社のアプリケーション専門家チームが、貴社の位置計測のニーズに対応し、サポートいたします。

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