Verifire縦型ワークステーション
効率的な光学部品測定のための干渉計ワークステーション
ZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 可動範囲1mの電動Zステージで、テスト部品の素早い配置が可能になり、曲率半径も得られます。
VTSは、さまざまな干渉計メインフレームと互換性があり、製造や開発のニーズに適したパフォーマンスレベルを選択できます。 お客様の安全要件を満たすライトカーテン モーションインターロックの安全機能も搭載しています。
MetroCell800mmのZステージ可動範囲を持つ、5軸電動でプログラム可能なアライメント用ステージと、内蔵型のパッシブ除振システムを備えた、超高性能の垂直下向き干渉計ワークステーションです。 Zステージ上に2軸DMIを備えたMetroCellは、最も精度の高い球面曲率半径測定用プラットフォームです。 曲率半径の測定精度は0.001% 以下です。 < 0.001% of radius value.
VTSはシンプルなコストパフォーマンスの高いパッケージで、垂直方向の干渉計に柔軟性を備えます。 構成とオプションの詳細については、レーザー干渉計アクセサリガイドをご覧ください。