ワークステーション

効率的な光学部品製造のための干渉計ワークステーション

Verifire™ MSTレーザー干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面光学干渉計ワークステーションです。  垂直上向きのワークステーションは、重力を利用してテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。  内蔵型のパッシブ除振システムと花崗岩製のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できるように設計された堅牢な計測用プラットフォームを保証します。  可動範囲1mの電動Zステージで、テスト部品の素早い自動配置が可能になり、2地点間の曲率半径も得られます。

VTSは、さまざまな干渉計メインフレームと互換性があり、製造や開発のニーズに適したパフォーマンスレベルを選択します。  CEの機器の安全要件を満たすライトカーテン モーションインターロック付きの安全筐体を併用する場合も、単独で使用する場合も、コンパクトな設置面積を維持できます。


MetroCellレーザー干渉計MetroCellは、800mmのZステージ可動範囲を持つ、5軸電動式でプログラム可能な、部品のアライメント用ステージングと、内蔵型のパッシブ除振システムを備えた、超高性能の垂直下向き干渉計ワークステーションです。  Zステージ上に2軸DMIを備えたMetroCellは、測定の不確実性を評価できる、市販されている最も精度の高い球面曲率半径測定用プラットフォームです。 < 0.001% of radius value.

垂直ワークステーションキット垂直ワークステーションキット余分なものを取り除いた費用対効果の良いパッケージで、垂直方向の干渉計に柔軟性を備えます。  可能な構成とオプションの詳細については、レーザー干渉計アクセサリガイドをご覧ください。
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ZYGOの干渉計ワークステーションは、標準型干渉計のメインフレームの機能を垂直方向に拡張し、コンパクトな設置面積にステージングとパッシブ除振が統合されています。  電動ステージは、ZYGOのMxソフトウェアを通じた正確な曲率半径とプログラム可能な位置決めが可能で、今日の精密光学機器製造要件を満たす、効率的で柔軟な計測ワークステーションを作り出します。

主な特長

  • 垂直上向きまたは下向きのワークステーション
  • ほとんどの標準的なZYGO干渉計メインフレームに対応
  • 4インチと6インチの口径をサポート

VTSとMetroCell

  • 曲率半径を含む自動モーションのために、Mxと完全に統合された電動モーション
  • 内蔵型のパッシブ除振

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