Verifire縦型ワークステーション

効率的な光学部品測定のための干渉計ワークステーション

Verifire™ MSTレーザー干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 可動範囲1mの電動Zステージで、テスト部品の素早い配置が可能になり、曲率半径も得られます。

VTSは、さまざまな干渉計メインフレームと互換性があり、製造や開発のニーズに適したパフォーマンスレベルを選択できます。 お客様の安全要件を満たすライトカーテン モーションインターロックの安全機能も搭載しています。


MetroCellレーザー干渉計MetroCell800mmのZステージ可動範囲を持つ、5軸電動でプログラム可能なアライメント用ステージと、内蔵型のパッシブ除振システムを備えた、超高性能の垂直下向き干渉計ワークステーションです。 Zステージ上に2軸DMIを備えたMetroCellは、最も精度の高い球面曲率半径測定用プラットフォームです。 曲率半径の測定精度は0.001% 以下です。 < 0.001% of radius value.

垂直ワークステーションキットVTSはシンプルなコストパフォーマンスの高いパッケージで、垂直方向の干渉計に柔軟性を備えます。 構成とオプションの詳細については、レーザー干渉計アクセサリガイドをご覧ください。
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ZYGOの干渉計ワークステーションは、標準型干渉計のメインフレームの機能を垂直方向に拡張し、コンパクトな設置面積にステージとパッシブ除振台が統合されています。 電動ステージは、ZYGOのMxソフトウェアを通じた正確な曲率半径測定とプログラム可能な位置決めが可能で、今日の精密光学機器製造要件を満たす、効率的で柔軟な測定ワークステーションを作り出します。

主な特長

  • 垂直上向きまたは下向きのワークステーション
  • ほとんどの標準的なZYGO干渉計メインフレームに対応
  • 4インチと6インチの口径をサポート

VTSとMetroCell

  • 曲率半径を含む自動動作のために、Mxと完全に統合された電動ステージ
  • 内蔵型のパッシブ除振台