Verifire™ MST

マルチサーフェステスト用干渉計

Verifire™ MSTレーザー干渉計平行平板測定をよりシンプルに。表面が複数ある測定は、複雑な干渉縞が生じます。Verifire™ MSTは、特許取得済みの波長シフト技術を使用して、複数の表面から位相データを同時に取得します。 平行板ガラスの各表面、透過波面からの主な指標の他、全体の厚みのムラ (TTV)、ウェッジ、材料の不均一性などの正確な表面間情報を測定します。

Verifire™ MSTは、モバイルデバイスのディスプレイガラス、データストレージディスク、半導体ウェーハなどの要求の厳しいアプリケーションに対応し、0.5mmの薄いテスト部品の表面と厚みムラを正確に測定します。  

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Verifire™MSTは、光学部品とレンズシステムの表面形状と透過波面の高精度測定を提供します。これは、複数の表面を同時に測定し、相対的な表面情報を維持しながら、複数の表面から素早く簡単に結果を提供できる唯一の干渉計システムです。

主な特長

  • 表面と波面の同時特性評価と、TTVやウェッジなどの正確な表面間測定
  • 厚さ0.5mmの薄いテスト部品の表面と厚みの定量化
  • 最適なITFを提供するためのピクセル制限された光学設計を含む幅広い横方向分解能
    • 1.2k x 1.2k (最大3倍の光学ズーム用ディスクリートズームタレットを含む)
    • 2.3k x 2.3k
    • 3.4k x 3.4k
  • 633nmから1.053 µm、1.064 µm、1.55 µmまでの動作波長に対応
  • 振動が生じやすい環境での信頼性の高い測定を可能にする、ZYGO独自のQPSI™測定テクノロジーが、波長シフトおよびマルチサーフェスFTPSI測定で利用可能になりました。
  • ブルズアイを排除し、コヒーレントノイズを低減する、Ring of Fireアーティファクト低減ソースが標準で搭載されています。