大型開口装置

大型光学部品計測用に拡張された開口部

24インチの大口径干渉計システム
24インチの大口径干渉計システム

ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の干渉計測を実現します。

水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの干渉計の柔軟性を与えます。  適切なアクセサリを使用して構成することにより、大型開口装置を使用して、表面形状と透過波面の質の両方を測定できます。

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32インチの大口径干渉計システム
32インチの大口径干渉計システム

ZYGOのビームエキスパンダーは、大型光学部品の計測の最も要求が厳しく精密なアプリケーションに対応するため、世界各国に配備されています。  当社のビームエキスパンダーの開発と超精密参照用平面などの主要コンポーネントの社内生産の数十年の経験が、貴社のアプリケーションのニーズが満たされ、将来にわたってサポートされることを保証しています。

大口径のシステムコンポーネントは、干渉計のメインフレームとは別に購入できます。貴社の計測のニーズを満たすようにシステムを構成する方法については、最寄りのZYGO代理店にお問い合わせください。

主な特長

  • 拡張された口径寸法12、18、24 、32インチ
  • 4インチのデュアルチャンネルと拡張レッグにより、大口径と小口径の両方にアクセスできる柔軟性が付加されます。
  • 高解像度用に設計された各ビームエキスパンダーは、最大3.4k x3.4kの干渉計システムのITFを維持します。
  • 耐振動性のQPSI取得をサポート
  • 633nmから1.55 µmの動作波長が可能55 µm
  • λ/ 25PVrまでの基準光学部品を含むさまざまな光学アクセサリと機械的アクセサリを、各開口サイズに合わせて取り揃えています。

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