レーザー干渉計
ZYGOレーザー干渉計は、半導体やリソグラフィーから人工衛星用イメージングシステム、最先端の消費者向けエレクトロニクス製品、防衛関連のIRおよび熱画像システム、眼科用機器まで、業界で最も要求の厳しい計測アプリケーションの実現をサポートします。
干渉計を選ぶ際に考慮すべきいくつかの要素があります。最も重要なのは、その測定の用途と動作環境です。 ZYGOは、中空間周波数特性評価用に構築された最も分解能の高い干渉計を含め、費用対効果の良い生産レベルから厳しい環境向けに最適化された機器まで、幅広いさまざまな干渉計を提供します。 以下の最新の機器、テクノロジー、機能の他、当社がサービスを提供しているアプリケーションと産業分野もご覧ください。

Verifire™
業界唯一の3年間のレーザー保証を含め、光学業界で何十年にもわたって信頼されてきた主力製品。光学製造現場で使用できる、技術と機能が詰まった干渉計。

DynaFiz®
最も過酷な環境で測定できるDynafizは、特許技術により裏付けられた、業界で最も高性能な瞬間計測機能を備えた干渉計です。

Verifire™ HD/HDX
中空間周波数の特性評価用に設計された、実現可能な最高の分解能とITF性能を備えた干渉計。

IR干渉計
設計波長での試験は、アライメントとアッセンブリにとって重要です。ZYGOは、NIRからSWIR、MWIR、LWIRまで、参照用原器やアクセサリなど、動作波長で光学系と材料をテストするためのさまざまな干渉計を提供します。

Verifire™ XL
大口径で設置面積の小さいVerifire™ XLは、精密ガラス、ミラー、ブロック光学系、ウエハーなどの大型光学系の平面テスト専用の下向き12インチ開口ワークステーションです。