ZeGage™ Pro

生産準備のできている3D光学プロファイラシステム

ZeGage Pro HR 3D 光学プロファイラ

ZeGage™ ProとZeGage™ Pro HR 3D光学プロファイラは、製造環境での品質管理とプロセス監視を保証する、さまざまな種類の表面のマイクロスケールとナノスケールの特徴の非接触式測定と特性評価を提供します。

当社の業界をリードするZeGage Proシリーズは、ベンチトップクラスの産業用非接触式表面プロファイラの性能、使いやすさ、柔軟性と精度の標準を設定します。ZYGO独自のCSIテクノロジーに基づいて構築されたZeGage Proは、正確で信頼性の高い、シンプルな表面計測を可能にする革新的なテクノロジーを提供します。

その独自の機能には、耐振動性計測のためのSureScan™テクノロジー、パーツファインダー、部品のセットアップを容易にし、測定を最適化するためのスマートセットアップなどがあります。  さまざまな表面や部品を、素速く簡単に測定することが、かつてなくシンプルになりました。

ZeGage™ Proシステムのパワー、汎用性、および価値を活用する方法については、詳細をご覧ください。

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 強力なパフォーマンス

  • 独自の非接触式測定技術がSureScan™テクノロジーで強化されたことで、振動の影響を受けにくくなり、施設内のどこにでも簡単に設置できるようになりました。
  • ナノメートルレベルの精度の定量的表面計測は、より優れたゲージ機能を提供します。
  • 190万ピクセルの高分解能イメージセンサーは、わずか数秒の高速面積測定で、表面の高度な詳細と視覚化を提供します。
  • 完全に自動化された測定シーケンスとフィールドスティッチで、広い領域の高分解能検査が可能です。(オプションの電動部品ステージが必要です)

汎用性

  • 表面のテクスチャ、形状、ステップの高さなどの2Dおよび3Dプロファイルを含む、さまざまな表面材料とパラメータを測定します。
  • 含まれているMxソフトウェアは、表面データの視覚化、分析、およびレポート作成のための包括的なツールを提供します。
  • 対物レンズのタレット、手動および電動の試料用ステージ、CognexのVisionPro®を使用したフィルムトポグラフィプロファイリングおよび2D分析用のオプションのソフトウェアモジュールなどのアクセサリを使用して、投資の測定範囲を拡大しましょう。

生産性と価値

  • スマートセットアップテクノロジーは、部品の検出、照明設定、スキャン構成を自動化することで、トレーニング時間を短縮し、部品の切替えに要する時間を減らします。 スマートセットアップでは通常、試料を対物レンズの下に置いてから1分以内に最初のデータマップを作成します。
  • 費用効率の良い価格対性能比は、機械的接触式プロファイラを含む代替システムよりも優れています。
  • 非接触式手法では、消耗部品の交換費用の心配が不要です。
  • コンパクトで耐振動性を備えたSureScan™テクノロジーにより、施設内のどこにでも簡単に統合できます。

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