Nexview™ NX2

Nexview NX2 3D光学プロファイラシステム最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計されたNexview™ NX2 3D光学プロファイラは、超高精度、高度なアルゴリズム、汎用性、および自動化を1つのパッケージに組み合わせて、ZYGOの最先端の垂直走査低コヒーレンス干渉計 (CSI) プロファイラです。

この非接触のテクノロジーは、すべての倍率でサブナノメートルの精度を提供し、他のテクノロジーよりも高速かつ正確に広範囲の表面を測定することができます。Nexview NX2は、ほぼすべての表面と材料の、平坦度、粗さ、うねり、薄膜、ステップ高さなど、さまざまな用途に対応できる、完成されたプロファイラです。

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最新世代の主力製品であるNexview™ NX2は、測定をより高精度に、より高速で、より信頼できるものにするための、あらゆる独自機能を搭載しています。

  • 高感度の広範囲1.9 MPセンサーにより、1回の測定でより多くの情報を得ることができます
  • わずか数秒の高速測定で生産性とプロセス制御が向上します
  • 部品の自動フォーカスと自動セットアップにより、オペレーターごとのばらつきとトレーニング時間が最小限に抑え、データ取得までの時間を短縮します。
  • 最も要求の厳しい生産アプリケーション向けの、比類ない精度と再現性を備えたゲージ対応のパフォーマンス。
  • SureScanテクノロジーとビルトインシステムを用いた耐振動測定は、振動が生じやすい環境でも高いレベルの測定が可能です。
  • 超精密研磨面の超高速プロファイリングのためのSmartPSI™テクノロジー
  • 2Dと3Dの相関 SO25178規格とISO4287規格を満たす結果を提供することで、貴社の測定に信頼性を備えます。
  • 機器の制御、解析、自動測定のためのMx™ソフトウェア
  • トゥルーカラーイメージングで色情報を含んだより高度な視覚化を可能に。
  • 付属の3つのズームレンズによる可変光学ズームで、ユーザーは視野を最適化し、機器の最大限の柔軟性を発揮できます。

必要な唯一のプロファイラ

Nexview NX2 3D光学プロファイラシステム

測定する表面のタイプに応じてプロファイラを選択する必要がなくなりました。Nexview™ NX2プロファイラは、表面粗さがサブオングストロームの超研磨光学表面から、最大85度の急な加工角度まで、ほぼあらゆる面のトポグラフィを測定します。これらすべてを非接触の3Dで実行し、他のプロファイリング技術 (スタイラス、共焦点、フォーカススキャン) を超える測定を提供します。

その他の機能を必要とするお客様のために、透明フィルムの測定や2Dビジョン解析など、特定のニーズに対応する追加のアプリケーションモジュールもご用意しております。

自動化された操作

Nexview™NX2プロファイラは、手動制御のない完全電動化ツールであるため、プログラムされたシーケンスで完全に自動化して、複数の測定を1回の操作にまとめることで、表面の複数の領域や、トレイ内の複数の部品、大きな表面などを測定することができます。

最適化された設計

Nexview NX2プロファイラは、広いワークスペースを確保しており、測定のセットアップと切り替えを素早く簡単に行うのに役立ちます。

自動化された200mmの測定ステージは、特長のない試料でも簡単に測定面を位置合わせできる、パーセントリック補正付きの±4度傾斜可能な高耐荷重ステージです。