NewView™ 9000

NewView™ 9000 3D光学表面プロファイラは、非接触式光学表面プロファイリングに力強い汎用性をもたらします。このシステムは鏡面、粗面、平面、傾斜、階段状など、さまざまな種類の表面を簡単に素早く測定できます。測定はすべて非破壊かつ高速で、試料の前処理は不要です。

システムの中核を成すのは、ZYGOのコヒーレンススキャン干渉測定 (CSI) テクノロジーです。これにより、すべての倍率でサブナノメートルの精度を実現し、他のテクノロジーよりも高速でより正確に、より広い範囲の表面を測定することができます。

性能、汎用性

汎用性が、ZYGOのNewView製品の特長です。NewView 9000プロファイラは、平坦度、粗さ、うねり、薄膜、ステップ高さなど、さまざまな用途で優れた性能を提供します。

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すべてのNewView 9000プロファイラに、システム用に合わせて作られたズーム光学系を搭載できるトリプルズームタレットが装備されています。試料のステージング構成は、手動操作から、完全自動操作までさまざまなニーズに対応しています。

構成によらず、NewView 9000システムは高精度の測定と使いやすさ、高速測定のすべてを魅力的な価格で提供するため、3D光学プロファイラの汎用性と価値を考慮する際の理想的な選択肢となります。

ユーザーの測定をより優れた、より高速で、より信頼できるものにするための差別化された機能の一例:

  • 高感度の広範囲1.9 MPセンサーにより、1回の測定でより多くの情報を得ることができます
  • わずか数秒の高速測定で生産性とプロセス制御が向上します
  • 試料の自動フォーカスと自動セットアップにより、オペレーターごとのばらつきやトレーニング時間を最小限に抑え、データ取得までの時間を短縮します。
  • 最も要求の厳しい生産アプリケーション向けの、比類ない精度と再現性を備えたゲージ対応のパフォーマンス
  • SureScanテクノロジーとビルトインシステムを用いた耐振動測定は、振動が生じやすい環境でも高いレベルの測定が可能です。
  • 超精密研磨面の超高速プロファイリングのためのSmartPSI™テクノロジー
  • 2Dと3Dの相関 SO25178規格とISO4287規格を満たす結果を提供することで、貴社の測定に信頼性を与えます。
  • 機器の制御、解析、自動測定のためのMx™ソフトウェア

柔軟な構成

NewView 9000 ステージと作業エリアNewView 9000プロファイラは、広いワークスペースを確保しており、測定のセットアップと切り替えを素早く簡単に行うのに役立ちます。システムには、完全手動のX / Yステージと傾斜ステージから、150 mmの移動範囲と4度の傾斜を備えた完全自動ステージまで、試料のさまざまなステージングを装備できます。統合型のシステムとコンパクトなサイズで、ベンチトップ設置に最適です。オプションのスタンドとワークステーションを使用することで、理想的なスタイルのシステムになります。