NewView™ 9000

NewView™ 9000 白色干渉計は、非接触式光学表面プロファイリングに力強い汎用性をもたらします。このシステムは鏡面、粗面、平面、傾斜、階段状など、さまざまな種類の表面を簡単に素早く測定できます。測定はすべて非破壊かつ高速で、試料の前処理は不要です。

システムの中核を成すのは、ZYGOのコヒーレンススキャン干渉測定 (CSI) テクノロジーです。これにより、すべての倍率でサブナノメートルの精度を実現し、他のテクノロジーよりも高速でより正確に、より広い範囲の表面を測定することができます。

性能、汎用性

汎用性が、ZYGOのNewView製品の特長です。NewView 9000白色干渉計は、平坦度、粗さ、うねり、薄膜、ステップ高さなど、さまざまな用途で優れた性能を提供します。