光学プロファイラ対物レンズ

電動タレットのプロファイラの対物レンズ光学プロファイラへの投資を、長期的に費用効率が高く、適切な形で維持するための鍵は、計測のニーズの変化に合わせて調整可能なものにすることです。対物レンズはZYGOのCSIプロファイラの中核であり、視野、横方向分解能、および傾斜の受け入れに柔軟性を提供します。そのため、ZYGOは、1倍から100倍までの最も幅広い干渉計の対物レンズを提供するために取り組んできました。これらは、今後さらに追加されてゆくことになります。

多様な対物レンズが、0.4mmから17mm以上までの、業界をリードする視野範囲を提供します。  しかし、ZYGOの対物レンズは、視野を超えて同焦点になるように設計されているため、さまざまな方法で組み合わせて、用途の柔軟性を最大限に高めることができます。  次のような、各用途に固有の複数の構成とアクセサリが利用可能です:

  • 長動作距離 (LWD) および超長動作距離 (SLWD) モデルで、スタンドオフ距離が20mmおよび40mmの、凹み、障害物、またはその他の理由でアクセスが困難な表面に対応します。
  • 透明な保護用窓の下で試料を測定するためのガラス補償 (GC) LWD対物レンズもご用意しております。
  • クイックチェンジ単一対物レンズのV字型の継ぎ手、および手動と電動の両方のコード化された対物レンズタレットにより、異なる対物レンズ間で安全かつ素早く簡単に交換できます。

精度の追求

対物レンズの最高のイメージングを保証することは、測定性能にとって非常に重要です。  深い歴史の光学的遺産を持つ企業であるZYGOは、これを認識し、当社のすべての対物レンズを正確にフォーカスさせ、光学的フォーカスと干渉計のフォーカスを正確に一致させます。これは、ZYGOと他のメーカーの大きな違いです。

さらに、この光学的遺産は、特許取得済みのZygo Wide Field (ZWF) 1.4Xなど、完全に独自の対物レンズオプションを提供してきました。  この独自の技術は、タレット上の別の対物レンズと容易に組み合わせられるコンパクトなパッケージで広い視野を提供し、一つのツールで複数のタイプの測定ができます。

用途に適した対物レンズの最良の組み合わせを特定するため、貴社の試料を用いたデモンストレーションのスケジュールを組むために当社にご連絡ください。 

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