Compass™

マイクロレンズプロセス計測システム

ZYGOのCompass™ 計測システムは、自動車用ビジョンシステム、スマートフォンやタブレット用のカメラなどのコンパクトなイメージングシステムに欠かせないディスクリートマイクロレンズと金型の、自動化された非接触式3D表面計測とプロセス制御の基準を定めます。

貴社の計測ニーズに応じて、Compass™システムには2つのモデルがあります。

  • Compass – マイクロレンズの表面形状と偏差、トポグラフィ、および関係/寸法パラメータの精密計測のためのZYGOの高度なソリューション。これは、球面または非球面マイクロレンズとそのアライメント機能の完全な特性評価が必要な用途に最適です。
  • Compass RT計測システムCompass RT – マイクロレンズの関係/寸法パラメータの精密計測と、一般的な形状測定用途のための高速かつ柔軟なシステム。これは、形状偏差計測が必要ない場合に最適な選択肢です。

強力な分析ソフトウェア

Compassシステムには、データ取得、分析と視覚化、および機器のハードウェア自動化の主な機能を提供する、ZYGOの包括的なMx™ ソフトウェアプラットフォームが装備されています。Compassシステムの多機能アーキテクチャは、モールドピンやディスクリートレンズなど、さまざまな部品や計測パラメータの測定に対応します。

  • 詳細
  • パンフレットと
    仕様シート
  • アプリケーション
    ノート
  • マニュアル
  • 技術文書
  • 動画

生産実績のあるテクノロジー

Compassシステムの中核を成しているのは、業界をリードする精度と汎用性と速度で、再現可能な計測と製造プロセス制御を実現する、コヒーレンススキャン干渉計測 (CSI) に基づくZYGOの光学プロファイラ技術です。Compass™とCompass™ RTに固有の機能は、非球面形状と偏差の計測、そしてアライメント機能の関係/次元計測です。

形状と偏差

  • 球面または非球面レンズおよび金型の表面形状の非接触式全表面3Dマッピング
  • 数百万のデータポイントを使用した、サブナノメートルの高さ精度の表面形状と偏差
  • 設計処方からの形状偏差の高度な分析
  • プロセスの非対称性を素早く自動的に同定
レンズからデータムへの特性化

関係計測と次元計測

  • 片面または両面レンズ要素の機械設計による特徴の定量的計測と検査
  • データム特性評価とレンズからデータムの特性評価
  • 偏芯インターロック径
  • 環状データムの平坦度、厚み、平行度とウェッジ
  • レンズの頂点の高さ、偏芯、中心の厚み、および頂点から頂点への偏芯 
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信頼性の高いエンジン軽量化を可能にする3D光学プロファイラ
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3D干渉顕微鏡法向けの新しいクラスの広視野対物レンズ
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偏向のある圧電アクチュエータからの正確で反復的な直線運動
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エネルギー効率を高める高度な計測
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光学計測の進歩
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コヒーレンススキャン干渉法による表面膜の角度分解三次元分析
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コヒーレンススキャン干渉法を使用したモデルベースの透明表面膜分析の応用
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波長標準を用いた干渉顕微鏡法の増幅係数の較正
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信頼性の高いエンジン軽量化を可能にする3D光学プロファイラ
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3D干渉顕微鏡法向けの新しいクラスの広視野対物レンズ
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偏向のある圧電アクチュエータからの正確で反復的な直線運動
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コヒーレンススキャン干渉法による表面膜の角度分解三次元分析
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コヒーレンススキャン干渉法を使用したモデルベースの透明表面膜分析の応用
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波長標準を用いた干渉顕微鏡法の増幅係数の較正
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非球面の光学測定における課題とソリューション
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白色光光学プロファイラを用いた正確な表面トポグラフィ測定のための材料とフィルムスタックの特性評価
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