白色干渉計
ZYGOの白色干渉計は、わずか数秒で最大200万のデータポイントをキャプチャし、正確で定量的なJIS準拠の非接触式表面測定と、マイクロスケールおよびナノスケールの表面形状の特性評価を提供します。非常に滑らかなサブオングストロームの光学面から、非常に粗い3Dプリント表面まで、そして、さまざまな試料のトポグラフィやうねりから粗さや微細構造の特性評価まで、用途はさまざまです。
適切な白色干渉計の選択は、速度、精度、測定範囲、自動化、柔軟性など、各用途の要件によって異なります。
ZeGage™ Pro
使いやすいコンパクトな設計の標準性能CSIベンチトップ構成。製造現場で直接部品を測定！
NewView™ 9000
カスタマイズ可能な高性能白色干渉計。ステージング、ソフトウェア、およびアクセサリのオプションで、幅広い用途に適合し、貴社の計測のニーズに合わせて進化させることが可能です。
Nexview™ NX2
最大のパフォーマンスを提供する最高性能のシステム。自動化された試料ステージと光学系により、高い測定精度で、高度な生産アプリケーションが実現します。NewView™ 9000やZeGage™ Proと同様、貴社の幅広い用途のニーズに合わせて、ソフトウェアとアクセサリのオプションを構成できます。
ZYGO 白色干渉計の主な機能
SmartSetup™ テクノロジー
SmartSetup™ テクノロジーは、セットアップと構成の作業を自動化することで、ZYGOの白色干渉計から測定データをより素早く取得するのに役立ちます。SmartSetup™は、通常1分以内で、試料表面の位置を特定し、照度とスキャン長を設定して、測定を実行します。
SureScan™ テクノロジー
SureScan™耐振動CSIテクノロジーは、革新的なハードウェアとソフトウェアを組み合わせることで、除振システムを必要とせずに、製造現場を含め、製造施設のほぼあらゆる場所で、ZeGage™ 白色干渉計による高精度の測定を可能にします。
白色干渉計対物レンズ
白色干渉計の対物レンズは、白色干渉計の倍率、動作距離、傾斜性能と視野を決定します (ただし、Z高さの分解能は一定です)。ZYGOが白色干渉計用に提供するさまざまな対物レンズは、業界一のラインナップを誇ります。
Mx™ ソフトウェア
ZYGOのMx™ソフトウェアは、洗練された3Dマップ、定量的形状データ、直感的なナビゲーション、および統計チャート、合格/不合格判定機能を備え、計測システムの制御とデータ解析を可能にします。