光学測定機
光学計測は極めて用途が広い測定ツールで、品質と製造誤差の検証において重要な役割を担っています。今日、これは最も信頼できる計測ソリューションとなり、非接触式、非破壊、高速、高感度で、比類ない分解能と精度が持つメリットを提供します。
ZYGOの計測ソリューションは光の干渉を使用して測定する、白色干渉計とレーザー干渉計の２つの主な製品タイプを提供します
白色干渉計
ZYGOの白色干渉計は、非接触で表面粗さ・形状をISO準拠して測定解析が可能です。高速測定でわずか数秒で最大200万ポイントデータが取得でき、かつ高精度なナノレベル測定を実現します。測定物の表面の反射率に殆ど影響なく、布表面から鏡面及び界面測定などができます。また、ねじのリード測定、摺動面の摩耗解析及びオイルリーク要因解析などが可能です。
レーザー干渉計
光学部品測定の先駆者としてのZYGOが、高分解能、再現性、耐環境性で平面、球面レンズの反射波面、透過波面の高精度測定を実現します。測定方法セットアップ事例により的確な測定をサポートします。裏面反射の影響を受けずに測定が可能なラインナップもあり、屈折率等の情報からホモジニティの測定や光学厚み、物理厚みの解析が可能です。