フォトリソグラフィ用ステージ

30年以上の経験を持つZYGOのナノポジションセンシング製品は、最も信頼される製品の1つとなり、ベストなパフォーマンスで継続的なオペレーションを提供しています。ZYGOは、OEM製品でのクローズドループサーボ制御のフィードバックを提供する変位センサーのマーケットリーダーです。今日の半導体やフラットパネルの製造・プロセス制御ツールは、ZYGOのセンサーを利用することで、量産環境に必要な精度と信頼性での生産を提供しています。

当社のZMI™変位センサーを使用して、このようなシステムのレチクル/マスクおよびウェーハステージにて、ナノメートルレベルでの相対位置を測定できます。当社のモジュール化されたコンポーネントは、ナノメートルレベルの動作制御を実現するために、お客様固有のアプリケーションに必要な、あらゆる構成に対応することが可能です。1つの ZMIレーザーヘッドで2〜22軸の測定が可能で、すべての軸で完全に同期された測定が可能です。

動作制御のパートナーとして、ZYGOはお客様の継続的なシステム改善をサポートし、次世代の要件に対応します。