フォトリソグラフィ用ステージ

ZMIステージ位置測定システム30年以上の経験を持つZYGOのナノポジションセンシング製品は、最も信頼される製品の1つとなり、比類ないパフォーマンスで継続的なオペレーションを提供しています。ZYGOは、OEMベースで閉ループサーボ制御のフィードバックを提供する変位センサーのマーケットリーダーです。今日の生産における半導体やフラットパネルの製造・プロセス制御ツールは、ZYGOのセンサーを利用することで、大量生産環境に必要な精度と信頼性を提供しています。

当社のZMI™変位センサーを使用して、これらのシステムのレチクル/マスクおよびウエハーステージのナノメートルレベルまでの相対運動を測定できます。当社のモジュール化されたコンポーネントは、ナノメートルレベルの動作制御を実現するために、貴社固有のアプリケーションに必要なあらゆる自由度で構成することが可能です。1つの ZMIレーザーヘッドで2〜22軸の測定が可能で、すべての軸で完全同期された測定が可能です。

動作制御のパートナーとして、ZYGOは貴社の継続的なシステム改善をサポートし、次世代の要件に対応する方法をご提案します。 

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