光学系

光学系は、モバイルデバイスのコンパクトカメラレンズアセンブリから、タイムリーな通信、天候を監視する人工衛星の望遠鏡まで、消費者が普段使用するさまざまな製品に欠かすことができません。 各光学系は、アセンブリとして適切に調整された場合に特定レベルの性能を満たすように設計された複数の光学コンポーネントで構成されています。寸法と用途の違いにも関わらず、各アセンブリに必要な評価は、動作波長での重要な測定値を特性化するための主要な測定装置であるZYGOのレーザー干渉計と非常に類似している場合があります。

レンズアセンブリ

レンズアセンブリは、リソグラフィの対物レンズからスマートフォンのカメラまで、あらゆるものに使用されていますが、最終用途によらず、すべてのアセンブリを評価して、性能仕様を満たしていることを確認する必要があります。透過波面誤差を使用して、レンズアセンブリが正しく構築され、期待どおりに動作することを確認します。

望遠鏡

望遠鏡は通常、非球面の大きい主鏡とより小さい副鏡で構成されます。これらは通常、放物面または双曲面の形状を持ち、非常に厳密な表面形状仕様が必要になります。大型望遠鏡用のミラーは、このような厳しい要件で測定する際の課題を提示します。これまで、干渉法に必要な安定した状態でこれらのミラーを取り付けることは困難でした。環境振動は測定結果に大きな影響を及ぼす可能性があり、それらを確実に測定できない場合は、高品質の光学部品を製造するのは困難です。ZYGOのQPSI™テクノロジーは、一般的なの振動源による問題を排除し、信頼性の高いデータを提供します。

システムのアライメント

光学アセンブリには、レンズ間の精密なアライメントが必要です。干渉法を使用して、適切なアライメントに到達したことを確認できますが、動的干渉法を使用することで、リアルタイムのシステムアライメントが可能になります。光学系の評価とアライメントには、リアルタイムの波面データを捉えて表示する、DynaFiz®干渉計とLivePhase™ のユニークな機能を活用できます。