マイクロレンズ

マイクロレンズアレイは、ディスプレイ、センサー、その他のフォトニックシステムなどのさまざまなアプリケーションに欠かせません。マイクロレンズアレイの主要な測定項目には、曲率半径、直径、ピッチなどがあります。

また、表面のテクスチャも光の表面散乱を制限するための重要な測定項目です。ZYGOの非接触式光学プロファイラは、マイクロレンズアレイの完全な高分解能3Dサーフェスマップを提供します。

マイクロレンズアレイは大量生産されることがよくあります。そのため、生産に追いつくために、自動化された信頼性の高い測定ソリューションが不可欠です。ZYGOの3D光学プロファイラは、測定対象の自動アライメントなどのレシピを使用して自動測定ができる、電動ステージ付きの構成が可能です。

ZYGOのMx™ソフトウェアは、これらすべてのシステムを制御し、マイクロレンズアレイデータの収集、測定、解析、および自動化するためのシンプルでインタラクティブなインターフェースを提供します。柔軟なUIは、単体測定から生産用途まで、さまざまなアプリケーションへの統合に最適です。さらに、ソフトウェアに標準装備されている領域解析ツールは、アレイの個々のマイクロレンズを自動的にセグメント化し、個別解析またはグループ分析を可能にします。

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