非球面と自由曲面の粗さ測定

表面テクスチャの測定は、イメージングシステムの最適なパフォーマンスを保証するために重要となる場合があります。ダイヤモンド旋削やサブアパーチャ研磨などの標準的な非球面加工技術は、最終製品に切削プロセスの痕跡を残す可能性があります。レンズの表面テクスチャの問題は、画像の均一性の欠如や散乱光、さらには最終画像内に回折を引き起こす可能性もあります。Zygoの3Dシステムでは、全領域の高分解能光学測定を用いて、表面テクスチャの問題を素早く検出できます。

典型的な表面テクスチャアプリケーションには、光学領域全体のレンズの粗さを決定するための、SaやSqなどの結果の解析などがあります。表面テクスチャ解析では、損傷や汚染による表面の局所的な欠陥を特定することも可能です。より高度な表面テクスチャアプリケーションには、レンズの回転痕の均一性や周期の分析も含まれます。いずれの場合も、表面テクスチャは、成形や研磨、コーティグプロセスで問題のある領域を特定するのに役立ちます。