非球面と自由曲面の計測

非球面および自由曲面光学部品のアプリケーションは拡大しつつあり、光学素子を減らし、イメージング性能を高めたい場合に広く使用されています。これらの複雑な光学系の設計と精密な製造方法により、LED照明、レーザービーム成形、消費者向けエレクトロニクス製品、イメージングセンサー、望遠鏡、ヘッドマウントディスプレイ、カメラ、リソグラフィ用ステッパーレンズなど、さまざまなアプリケーションで使用される高度な光学系の商業化が可能になりました。

表面形状が公称的に球面である従来の曲面光学系とは異なり、非球面と自由曲面は通常、複雑で高アスペクト比の、勾配のある非対称光学面を提示します。1つの部品内に球面、非球面、トロイダル面が存在するように設計された自由曲面の光学部品は、設計、測定、製造が困難です。
このようなタイプの複雑な表面では、正確な計測が、製造プロセスに欠かせない品質管理とフィードバックを提供するための重要な鍵となります。  ZYGOのレーザー干渉計と3D光学プロファイラは、形状誤差、うねり、欠陥、表面粗さなどの重要な表面パラメータを特性化および定量化することで、製造中の品質とプロセスのモニタリングを可能にします。

光学面を測定するための触覚的手法に比べ、ZYGOの干渉計は、より効率的な品質管理と収率の最適化のための、大きななメリットがあります:

  • 非接触式計測 – 仕上げ後の高品質表面の損傷を防ぎます
  • 全領域3D測定 – 個々の (2D) プロファイルに比べ、プロセスに関するより優れた洞察と表面の特性評価が得られます。 

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