非球面と自由曲面の測定

非球面および自由曲面光学部品のアプリケーションは拡大しつつあり、光学素子を減らし、イメージング性能を高めたい場合に広く使用されています。これらの複雑な光学系の設計と精密な製造方法により、LED照明、レーザービーム成形、消費者向けエレクトロニクス製品、イメージングセンサー、望遠鏡、ヘッドマウントディスプレイ、カメラ、リソグラフィ用ステッパーレンズなど、さまざまなアプリケーションで使用される高度な光学系の商業化が可能になりました。

表面形状が一般的に球面である従来の曲面光学系とは異なり、非球面と自由曲面は通常、複雑で高アスペクト比の、勾配のある非対称光学面となります。1つの部品内に球面、非球面、トロイダル面が存在するように設計された自由曲面の光学部品は、設計、測定、製造が困難です。
このようなタイプの複雑な表面では、正確な測定が、製造プロセスに欠かせない品質管理とフィードバックを提供するための重要な鍵となります。 ZYGOのレーザー干渉計と3D光学プロファイラは、形状誤差、うねり、欠陥、表面粗さなどの重要な表面パラメータを特性化および定量化することで、製造中の品質とプロセスのモニタリングを可能にします。

光学面を測定するための触覚的手法に比べ、ZYGOの干渉計は、より効率的な品質管理と最適化のための大きなメリットがあります:

• 非接触式測定 – 仕上げ後の高品質表面の損傷を防ぎます
• 全領域3D測定 – 個々の (2D) プロファイルに比べ、プロセスに関するより優れた情報と表面の特性評価が得られます。