補償光学

シンクロトロン用デフォーマブルミラー

シンクロトロンアプリケーションでは、デフォーマブルミラーは、斜入射するX線ビームに焦点を合わせるため、より細長いミラーになります。

ZPS™センサーをミラーの長さに沿って配置し、ミラーの曲率または複雑な形状を測定できます。硬X線ビームラインの場合、ZPSシステムはビームと相互作用するミラーの部分を直接測定することができます。

ZPS™センサーの位置情報をアクチュエータと組み合わせ、ミラー形状をフィードバックする事で、理想のミラー形状を保持する事が可能です。また、10-7hPaまでの真空対応標準製品がございます。