全体厚みムラ (TTV)

測定用に取り付けられた薄いガラスディスク私たちが毎日使用する製品や将来に向けて開発中の製品は、ウェーハ、ディスプレイガラス、ディスクドライブ、エタロン、導波路などの高精度なパラレルオプティクスの需要を生み出しています。 全体厚みムラ (TTV) として知られる、このような光学部品の厚みのばらつきは、正確な品質管理とって、非常に重要になる場合があります。 TTVは、平行平板または同心球面光学部品の厚みにおける最大の物理的ばらつきを定義しますが、これを光学的に測定することも可能です。 光学測定により、広い領域を高い横方向サンプリングレートと非常に小さな垂直方向分解能で測定することができます。   

Verifire MSTは、厚みばらつきの正確な品質管理が要求されるコンポーネントのTTVを評価するのに最適です。各表面の同時データ取得により、厚み測定中の各表面間の情報が維持されます。 その他の光学的測定方法では、各表面を複数回個別に測定する必要があるため、厚みのばらつきによる測定誤差が生じます。