トポグラフィとテクスチャ

技術が進歩するにつれて、表面は厳格に制御された状態で製造されるようになり、表面のテクスチャを高精度で正確に測定することの重要性がますます高まっています。粗さの測定には、表面測定、データ処理、結果報告の3つの重要な要素があります。

表面の測定

粗さの値の正確さを保証するためには、十分な精度で表面を測定する必要があります。ZYGOの3D光学プロファイラシステムでは、ボタンを1度クリックするだけで、焦点を見つけ、測定パラメータを調整し、測定を実行する、SmartSetup™テクノロジーのような使いやすい機能を使用して、精密なデータを素早く簡単に収集できます。

データの分析

粗さの測定では、表面のうねりや形状と粗さを区別するために、生データを処理またはフィルタリングする必要があります。  ZYGOのMx™ソフトウェアを使用して、ISO準拠のフィルタリングで表面を簡単にフィルター処理できます。

結果の報告

これまで、表面粗さについて述べる場合に、Ra (平均粗さ) は主な指標でしたが、全体の描写には適さないことがよくありました。各表面に応じて、以下のような表面をより適切に記述し得る、その他のさまざまな結果があります。

  • 歪度 (Ssk):表面上の山や谷の度合い
  • 界面の展開面積比 (Sdr) : トポグラフィを考慮したときの表面積と投影面積の比率である展開面積比
  • 二乗平均平方根傾斜 (Sdq): 局所的な斜面の勾配やテクスチャの変化速度
  • 最小自己相関長さ (Sal) と表面性状のアスペクト比 (Str): 表面がほぼランダムか、あるいは周期的/方向性かを表します

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