トポグラフィーとテクスチャ

技術が進歩するにつれて、表面は厳密に制御された状態で製造されるようになり、表面のテクスチャを高精度で正確に測定することの重要性がますます高まっています。粗さの評価には、表面測定、データ処理、結果報告の3つの重要な要素があります。

表面の測定

粗さの値の正確さを保証するためには、十分な精度で表面を測定する必要があります。ZYGOの3D光学プロファイラシステムでは、ボタンを1度クリックするだけで、自動的に焦点合わせ、測定パラメータの調整、測定を行う、SmartSetup™テクノロジーのような使いやすい機能を使用して、高精度なデータを素早く簡単に取得できます。

データの解析

粗さの測定では、表面のうねりや形状と粗さを区別するために、生データを処理またはフィルタリングする必要があります。  ZYGOのMx™ソフトウェアを使用して、ISO準拠のフィルタリングで表面を簡単にフィルター処理できます。

結果の報告

これまで、表面粗さについて述べる場合に、Ra (平均粗さ) が主な指標でしたが、表面の評価には適さないことがよくありました。以下のような表面をより適切に記述し得るさまざまなパラメータがあります。

• スキューネス (Ssk)：表面上の山や谷の度合い
• Sdr : トポグラフィーを考慮したときの表面積と投影面積の比率である展開面積率
• Sdq: 局所的な斜面の勾配やテクスチャの変化度合
• Sal とStr: 表面がほぼランダムか、あるいは周期的/方向性かを表します