曲率半径

ZYGOのレーザー干渉計は、光学部品やシステムの特性評価のための強力で高精度な測定装置です。 最も一般的なアプリケーションの1つは、曲率半径の測定です。曲率半径は、製造中の品質管理が必要な球面光学表面の基本的かつ機能的なパラメータです。

干渉計は、次のような重要な属性と利点を備えているため、光学メーカーにとってしばしば最も望ましいソリューションとなります。

• 非接触式3D計測
• 精度の高い高品質データ
• 迅速なセットアップと測定
• 短い曲率半径および長い曲率半径に対応

球面の曲率半径は、通常、テスト用光学部品のベストフィットな球面 (共焦点) と曲率中心 (キャッツアイ) のヌル位置を特定する為に位相測定干渉計を使用します。リニアガイドがこれらの位置間の動きをサポートし、1つまたは複数の 変位センサーを使用して、キャッツアイと共焦点位置間の距離をレコードし、曲率半径を出力します。

ZYGOのターンキー曲率半径測定ソリューションは、業界をリードする干渉計、参照用アクセサリ、オプトメカニカルサブシステムや測定ソフトウェアを統合します。 通常、以下の1つまたは複数のコンポーネントが含まれ、手動ソリューションから自動ソリューションまでのさまざまな構成が可能です。

• 垂直 (下向き) または水平方向で構成された、、位相シフトレーザーフィゾー干渉計
• 標準またはプレミアム透過型球面原器
• エンコーダまたは最高精度の距離測定干渉計 (DMI) を備えたガイドレール位置決めシステム
• テストする表面を保持および位置合わせするための手動または電動の5軸マウント
• パッシブ防振台またはワークステーション

構成オプション

ZYGOは、手動または自動操作のいずれかで、水平レイアウトと垂直レイアウトを含む曲率半径を測定するための複数の製品オプションを提供します。

Verifire™ – 複数の構成オプションが可能です。詳細は レーザー干渉計アクセサリガイド (PDF) をご覧ください 

Verifire VTS / ワークステーション – 使いやすい垂直レイアウトで正確な曲率半径測定を提供します。ZYGOのスタンドアローン ターンキー干渉計用ワークステーションは、内蔵型のパッシブ防振台と小さな設置面積で、製造環境に最適です。