曲率半径

曲率半径テストのセットアップ、ZYGOのレーザー干渉計

ZYGOのレーザー干渉計は、光学部品やシステムの測定と特性評価のための強力で精度の高い計測装置です。  最も一般的なアプリケーションの1つは、曲率半径の測定です。曲率半径は、製造中の品質管理が必要な球面光学表面の基本的かつ機能的なパラメータです。

干渉計は、次のような重要な属性と利点を備えているため、光学メーカーにとってしばしば最も望ましいソリューションとなります。

  • 非接触式3D計測
  • 精度の高い高品質データ
  • 迅速な部品セットアップと測定
  • 短半径および長半径の表面に対応
曲率半径測定テストセットアップ

球面の曲率半径は、通常、テスト用光学部品の最適な球面 (共焦点) と曲率中心 (キャッツアイ) の中立位置を特定する位相測定干渉計を使用して決定します。リニアガイドがこれらの位置間の動きを与え、1つまたは複数の 変位センサーを使用して、キャッツアイと共焦点位置間の距離と曲率半径を記録します。

球面光学部品 - 曲率半径の測定ZYGOのターンキー半径測定ソリューションは、業界をリードする干渉計、参照用アクセサリ、オプトメカニカルサブシステムや計測ソフトウェアを統合します。  通常、以下の1つまたは複数のコンポーネントが含まれる、手動ソリューションから自動ソリューションまでのさまざまな構成が可能です。

  • 垂直 (下向き) または水平方向で構成された、位相推移レーザーフィゾー干渉計
  • 標準またはプレミアム透過球面
  • 最高精度のエンコーダまたは距離測定干渉計 (DMI) を備えたガイドレール位置決めシステム
  • テストする表面を保持および位置合わせするための手動または電動の5軸マウント
  • パッシブ除振テーブルまたはワークステーション

構成オプション

Verifire HDX干渉計システム - 垂直テストステーションZYGOは、手動または自動操作のいずれかで、水平構成と垂直構成を含む曲率半径を測定するための複数の製品オプションを提供します。

Verifire™ – 複数の構成オプションが可能詳細は レーザー干渉計アクセサリガイド (PDF) をご覧ください 

Verifire VTS / ワークステーション – 使いやすい垂直方向で正確な曲率半径測定を提供する、ZYGOのスタンドアローン ターンキー干渉計用ワークステーションは、内蔵型のパッシブ除振と小さな設置面積で、製造環境に最適です。

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