形状と平坦度

製造された表面には、さまざまな表面形状と寸法があります。形状の特性評価が機能的に重要な表面に関しては、ZYGOのレーザー干渉計3D光学プロファイラが、非接触式表面データのサブナノメートルの再現性で際立っています。形状と平坦度の業界標準をMx™分析ソフトウェアに組み込むことで、表面検査用のシングルストップ測定ツールが誕生します。次の表面形状計測と平坦度計測で、貴社のアプリケーションのためのソリューションをお探しください。

形状

形状測定

形状計測は、ベース形状と比較した表面の絶対測定または相対測定として要約することができます。ZYGOの製品は、標準製品を使用してすぐに測定できる球面や円筒面などの一般的なアプリケーションの他に、非球面や薄ガラスなどのより複雑な形状を持つ特殊なアプリケーションやツールにも対応しています。

ZYGOの形状計測の応用範囲も同じくらい広く、ツールは柔軟性を備えています。ベベルの半径、プリズムの角度や表面間の角度、表面のの曲率などはその一例です。直交座標および回転対称の関数のフィッティングには、形状計測の信頼性を保証するために、特定の表面全体で数百万のデータポイントを使用します。

平坦度

平坦度測定

平坦度は、ZYGOのすべての製品ラインで、さまざまな手法により測定できます。高品質の透過平面 (最大λ/50) を使用することで、ZYGOレーザー干渉計は、宇宙望遠鏡用のフラット板から、研磨された鋼表面まで、測定することができます。Mx™ソフトウェアは、かすめ入射測定を用いることで、特大 (4〜6インチ以上) の長方形表面の平坦度計測の応用範囲を拡大します。

電動ステージングを備えた光学プロファイラは、表面の平坦度の結果を調べてレンダリングするための、スティッチやパターン化された動きで小さい視野での測定を克服します。同様に、当社の顕微鏡用対物レンズの作動距離範囲で、くぼんだキャビティ内の平らなシートとシールも測定することが可能です。

数多くのソリューションと堅牢な応用空間を持つZYGOは、表面形状と平坦度計測のリーダーであることに誇りを持っています。ZYGOが表面仕様を満たしつつ、貴社の期待をいかに超えることができるかをご覧ください。  

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