形状と平坦度

製造された表面には、さまざまな表面形状と寸法があります。形状の特性評価が機能的に重要な表面に関しては、ZYGOのレーザー干渉計と3D光学プロファイラが、非接触式表面データのサブナノメートルの再現性で際立っています。形状と平坦度の業界標準をMx™解析ソフトウェアに組み込むことで、表面評価用のシングルストップ測定ツールが誕生します。次の表面形状測定と平坦度測定で、貴社のアプリケーションのためのソリューションをお探しください。

形状

形状測定は、ベース形状と比較した表面の絶対測定または相対測定として要約することができます。ZYGOの製品は、標準製品を使用してすぐに測定できる球面や円筒面などの一般的なアプリケーションの他に、非球面や薄ガラスなどのより複雑な形状を持つ特殊なアプリケーションやツールにも対応しています。

ZYGOの形状測定の応用範囲も同じくらい広く、ツールは柔軟性を備えています。ベベルの半径、プリズムの角度や表面間の角度、表面の曲率などはその一例です。直交座標および回転対称の関数のフィッティングには、形状測定の信頼性を保証するために、表面全体で数百万のデータポイントを使用します。

平坦度

用のフラット面から、研磨された鋼表面まで、測定することができます。Mx™ソフトウェアは、斜入射測定を用いることで、大きな(4〜6インチ以上) 長方形表面の平坦度測定に対応します。

電動ステージを備えた光学プロファイラは、表面の平坦度評価において、スティッチやパターン化された動きで小さい視野での測定を克服します。同様に、当社の顕微鏡用対物レンズの作動距離範囲で、窪んだ空間内の平らなシートやシールも測定することが可能です。

数多くのソリューションと確かなアプリケーション対応が可能なZYGOは、表面形状と平坦度測定のリーダーであることに誇りを持っています。ZYGOが要求仕様を満たしつつ、貴社の期待をいかに超えることができるかをご覧ください。