次元分析

次元分析ZYGOはその機能を拡張して、3D計測結果のレポートに使用する同じデータからサブピクセルの2D計測値を得ることも可能です。ユーザーは、これらの横方向の測定を行うために、高さまたは強度のデータのいずれかを使用できます。線と空間の幅、穴の寸法、要素間の関係などのパラメータが可能です。

ZYGOの2D計測ソリューションは、横方向の寸法測定に使用できるだけではなく、生産および自動化された環境にも適しています。生産方式の測定における、高い信頼性と再現性を備えた計測ソリューションを保証するために、2D計測を使用して、部品のアライメントのための要素を特定することができます。

線幅

線の幅ウエハー、フォトリソグラフィ、および半導体産業における技術と精度の進歩に伴う、信頼性の高い計測ソリューションのニーズに応える必要があります。これらの産業に共通のニーズは、線幅の測定です。ZYGOの2D計測ソリューションは、この測定アプリケーション向けの再現性の高い非接触式ソリューションを提供します。これらの2D線幅測定により、高品質で信頼性の高い製品に対する需要が高まっているこれらの産業で、非接触式の高速プロセス制御が可能になります。

自動化とパターン整合によるMx統合

パターン整合MxソフトウェアをCognex® VisionPro™ソフトウェアスイートと組み合わせることで、サンプルの既知の要素を使用して測定値を調整することができます。この自動測定アライメントにより、サンプル間およびオペレーター間で再現性の高い結果を得ることができます。特定の測定を自動化するために、VisionPro™ソフトウェアスイートで実行できるいくつかの機能があります。

VisionPro™ソフトウェアを使用して、1つまたは複数のトレーニングされたフィーチャーが検出されたロケーションに基づき、パターンの原点オフセットと回転を実行することで、フィクスチャ内のパーツのグループを位置合わせできます。VisionPro™ソフトウェアスイートでは、特定の特徴の測定を自動センタリングすることも可能です。さらに、VisionPro™を使用して、ある種の特徴をマスクしたり、測定視野内の他の特徴を無視したりすることも可能です。

幾何学的寸法と公差

幾何学的寸法と公差 (GDT)2D計測データを使用して、幾何学的寸法と公差を求めることができます。  ZYGOの2D計測データを使用することで、基本的な横方向の寸法、真の位置、同心度などのGD&T機能がすべて可能になります。

通常、複数のシステムと複数の測定を要する結果はすべて、ZYGOのシステムを使用して、1回の2D測定で得ることが可能です。

VisionProとCognexは、Cognex Corporationの商標または登録商標です。

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