寸法解析

ZYGOはその機能を拡張して、3D測定結果のレポートに使用する同じデータからサブピクセルの2D測定値を得ることも可能です。ユーザーは、これらの横方向の測定を行うために、高さまたは光強度のデータのいずれかを使用できます。線や空間の幅、穴の寸法、要素間の関係などのパラメータが出力可能です。

ZYGOの2D測定ソリューションは、横方向の寸法測定に使用できるだけではなく、生産および自動化された環境にも適しています。量産スタイルの測定における、高い信頼性と再現性を備えた測定ソリューションを保証するために、2D測定を使用して、部品のアライメントのための特徴を特定することができます。

線幅

ウェーハ、フォトリソグラフィ、および半導体産業における技術と精度の進歩に伴う、信頼性の高い測定ソリューションのニーズに応える必要があります。これらの産業に共通のニーズは、線幅の測定です。ZYGOの2D測定ソリューションは、この測定アプリケーション向けに再現性の高い非接触式ソリューションを提供します。これらの2D線幅測定により、高品質で信頼性の高い製品に対する需要が高まっているこれらの産業で、非接触式の高速プロセス制御が可能になります。

Mxによる自動化とパターンマッチングの統合

MxソフトウェアをCognex® VisionPro™ソフトウェアスイートと組み合わせることで、サンプルの既知の特徴を使用して測定位置を調整することができます。この自動測定アライメントにより、サンプル間およびオペレーター間で再現性の高い結果を得ることができます。特定の測定を自動化するために、VisionPro™ソフトウェアスイートで実行できるいくつかの機能があります。

VisionPro™ソフトウェアを使用して、1つまたは複数の登録された特徴が検出された位置に基づき、パターンの原点オフセットや回転を実行することで、フィクスチャ内のパーツのグループを位置合わせできます。VisionPro™ソフトウェアスイートでは、特定の特徴を自動センタリングすることも可能です。さらに、VisionPro™を使用して、ある特徴をマスクしたり、測定視野内の他の特徴を無視したりすることも可能です。

幾何学的寸法と公差

2D測定データを使用して、幾何学的寸法と公差を求めることができます。 ZYGOの2D測定データを使用することで、基本的な横方向の寸法、真の位置、同心度などのGD＆T機能がすべて可能になります。

通常、複数のシステムや複数の測定を要する評価に対して、ZYGOのシステムは1回の2D測定で得ることが可能です。

VisionProとCognexは、Cognex Corporationの商標または登録商標です。